I. วิธีการระดับอิเล็กทรอนิกส์: รวดเร็ว-การประเมินไซต์ (เหมาะสำหรับแพลตฟอร์มขนาดกลางถึงขนาดใหญ่)
เหมาะสำหรับการตรวจสอบรายวันและการทดสอบซ้ำรายไตรมาส ใช้งานง่าย ต้นทุนต่ำ และความแม่นยำถึง ±0.005 มม./ม.
1. หลักการวัด: วัดมุมเอียงที่ตำแหน่งต่างๆ โดยใช้เครื่องวัดระดับ คำนวณความแตกต่างของความสูงสัมพัทธ์ระหว่างจุดต่างๆ โดยใช้ข้อมูล แล้วคำนวณค่าความคลาดเคลื่อนของความเรียบ (วิธีช่วง)
2. ขั้นตอนการดำเนินงาน:
ทำความสะอาดพื้นผิวโต๊ะ ขจัดน้ำมัน ตะกรันจากการเชื่อม และเศษอื่นๆ
จัดเรียงจุดเป็นระยะเท่าๆ กันตามเส้นทางรูป "米" (ข้าว) (เส้นทแยงมุมสองเส้น + เส้นกึ่งกลางด้านสี่ด้าน) (แนะนำระยะพิทช์ 200~500 มม.)
วางระดับในแต่ละจุดและบันทึกการอ่าน (หน่วย: ฝ่าย) หลังจากที่ฟองอากาศคงที่
แปลงจำนวนดิวิชั่นเป็นความแตกต่างของความสูง (เช่น ความไว 0.02 มม./ม., พิทช์ L=0.3 ม. จากนั้นแต่ละดิวิชั่นจะเท่ากับ 0.006 มม.)
คำนวณความแตกต่างระหว่างค่าสูงสุดและค่าต่ำสุดในทุกจุด นี่คือข้อผิดพลาดของความเรียบ
3. เกณฑ์การตัดสินความผิดปกติ
หากค่าที่วัดได้ > 0.10 มม./1000 มม. (เกรดความแม่นยำ) จะถือว่ามีความผิดปกติ การเปลี่ยนแปลงฤดูกาล-เพียงครั้งเดียว > 0.02 มม./1000 มม. บ่งชี้ถึงความเครียดภายในที่ทำงานอยู่ ซึ่งจำเป็นต้องมีคำเตือน
✅ ขอแนะนำให้ใช้ระดับอิเล็กทรอนิกส์แบบดิจิทัลซึ่งรองรับการบันทึกข้อมูลอัตโนมัติและการวิเคราะห์แนวโน้มช่วยเพิ่มประสิทธิภาพ
ครั้งที่สอง วิธีการวัดแบบพิกัด: การตรวจจับเชิงปริมาณที่มีความแม่นยำสูง- (เหมาะสำหรับการยอมรับและการตรวจสอบ)
เหมาะสำหรับสถานการณ์ที่ต้องการความแม่นยำสูง เช่น การเชื่อมด้วยหุ่นยนต์และการยืนยันเกณฑ์มาตรฐานก่อนการผลิตจำนวนมาก
1. หลักการวัด
ระบบจะรวบรวมพิกัดของจุดต่างๆ บนโต๊ะโดยการเลื่อนสไตลัสไปตามแกน X, Y และ Z ซอฟต์แวร์นี้เหมาะกับระนาบในอุดมคติ (วิธีกำลังสองน้อยที่สุด) และคำนวณค่าเบี่ยงเบนสูงสุดระหว่างพื้นผิวจริงกับระนาบในอุดมคติ
2. จุดปฏิบัติการ
ปรับเทียบโพรบก่อนการวัดเพื่อให้แน่ใจว่าระบบมีความแม่นยำ กระจายจุดตรวจวัดอย่างน้อย 50 จุดเท่าๆ กันบนโต๊ะ (วิธีกริด) หลีกเลี่ยงการรบกวนจากการสั่นสะเทือนของสภาพแวดล้อมและความผันผวนของอุณหภูมิ ใช้ซอฟต์แวร์ระดับมืออาชีพ (เช่น PC-DMIS) ในการประมวลผลข้อมูล
3. เกณฑ์การตัดสินความผิดปกติ
ความเรียบ=ส่วนเบี่ยงเบนเชิงบวกสูงสุด - ส่วนเบี่ยงเบนเชิงลบสูงสุด; การเบี่ยงเบนใดๆ ที่เกินมาตรฐานโรงงาน (เช่น เกรดความแม่นยำ > 0.10 มม./1,000 มม.) ถือว่าผิดปกติ สามารถสร้างแผนที่ภูมิประเทศ 3 มิติได้ โดยแสดงพื้นที่ที่ยื่นออกมา เว้า หรือบิดเบี้ยวด้วยสายตา
📌 ข้อดี: ค้นหาตำแหน่งการเสียรูปได้อย่างแม่นยำ ให้การสนับสนุนข้อมูลสำหรับการซ่อมแซมในภายหลัง
ที่สาม วิธีการเลเซอร์อินเทอร์เฟอโรมิเตอร์: การตรวจสอบแบบไม่สัมผัส-ความแม่นยำสูงพิเศษ (เหมาะสำหรับการยอมรับแพลตฟอร์มที่มีความแม่นยำสูง-)
เหมาะสำหรับแพลตฟอร์มที่มีความแม่นยำสูง-ที่มีความต้องการความเรียบน้อยกว่าหรือเท่ากับ 0.05 มม./1000 มม. เช่น โต๊ะทำงานด้านการบินและอวกาศและการประกอบแม่พิมพ์ที่มีความแม่นยำ
1. หลักการวัด
ลำแสงเลเซอร์ส่องสว่างพื้นผิวที่วัดโดยใช้พื้นผิวการทำงานของแผ่นเรียบเชิงแสงเป็นการอ้างอิงระนาบในอุดมคติ ทำให้เกิดขอบสัญญาณรบกวน ความโค้งของขอบสะท้อนถึงข้อผิดพลาดของความเรียบ ขอบปิดแต่ละอันแสดงถึงความแตกต่างของความสูง แล/2 (ประมาณ 0.3μm ภายใต้แสงสีขาว)
2. ขั้นตอนการปฏิบัติงาน
ค่อยๆ วางแผ่นออพติคอลลงบนโต๊ะที่ทำความสะอาดแล้ว
เปิดเลเซอร์อินเตอร์เฟอโรมิเตอร์และปรับการจัดตำแหน่งเส้นทางแสง
สังเกตภาพการรบกวนและวิเคราะห์รูปร่างและจำนวนขอบ
หากขอบโค้งเป็นวงปิด ความคลาดเคลื่อนความเรียบ=จำนวนขอบสัญญาณรบกวน × แลม/2
3. การตัดสินที่ผิดปกติ
ถ้าขอบสัญญาณรบกวนโค้งหรือปิดอย่างเห็นได้ชัด แสดงว่ามีส่วนนูน/เว้าเฉพาะที่
หากขอบเคลื่อนจากกึ่งกลางไปยังขอบ → พื้นผิวจะนูน มิฉะนั้นจะเว้า
ค่าความผิดพลาดที่เกิน 0.05 มม./1,000 มม. ถือว่าไม่อยู่ในเกณฑ์ความคลาดเคลื่อน
⚠️ หมายเหตุ: ใช้ได้กับพื้นผิวเรียบขนาดเล็กเท่านั้น (ปกติ<500mm). Large-area inspections need to be performed in segments.
