I. การตรวจสอบความถูกต้องขั้นพื้นฐาน
1. Repeatability Test: Measure 20 times consecutively using a standard part. The repeatability accuracy should be ≤0.8μm (≤0.3μm for high-precision models). If the standard deviation is >1.2μm ต้องมีการสอบเทียบ
2. Systematic Error Detection: Measure standard parts of different sizes (e.g., 10mm, 50mm, 100mm). If the deviation is consistently >±2.5μm ต้องมีการชดเชย
3. การตรวจสอบความถูกต้องทางเรขาคณิต:
Guide rail straightness: Error per meter >2μm
Worktable flatness: Full stroke error >3μm
Three-axis perpendicularity: Angular error >5 อาร์ควินาที
ครั้งที่สอง การประเมินระบบโพรบ
Calibration ball diameter consistency: If the measurement difference in different directions by the same probe is >0.8μm or the roundness error is >0.5μm จำเป็นต้องมีการปรับเทียบใหม่
Multi-probe consistency: If the deviation of each probe measuring the same dimension is >2μm ความสัมพันธ์ของโพรบต้องมีการสอบเทียบ
III. การตรวจสอบอุณหภูมิและการบำรุงรักษา
ความคงตัวของอุณหภูมิ: การเปลี่ยนแปลงของอุณหภูมิแวดล้อม > ±0.5 องศา อาจส่งผลต่อความแม่นยำ
การบำรุงรักษารายวัน: ทำความสะอาดอย่างสม่ำเสมอและตรวจสอบรูวางตำแหน่งว่ามีการสึกหรอหรือไม่ (เช่น ขนาดที่เพิ่มขึ้นหรือการเสียรูป) จำเป็นต้องซ่อมแซมหรือเปลี่ยนใหม่ในกรณีที่รุนแรง
